Electrical properties of thin silicon oxides grown at room temperature by ion beam sputtering technique
Author:
Publisher
Springer Science and Business Media LLC
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Condensed Matter Physics,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Link
http://link.springer.com/article/10.1007/s10854-019-00782-7/fulltext.html
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