Development of Non-contact Ultrasonic Motor with Motion Error Compensation in Radial Direction

Author:

ISOBE Hiromi,KONDOU Katsunori,KYUSOJIN Akira

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Reference10 articles.

1. 1) 胡俊輝, 中村健太郎, 上羽貞行 : ロータ浮上式非接触超音波モータの諸特性, 信学技報 US96-75 (1996) 37.

2. 2) 田口誠, 小池義和, 中村健太郎, 上羽貞行 : 非接触浮上式高速超音波モータの小型化, 信学技報 US99-11 (1999) 21.

3. 4) 平山朋子, 北川貴一 : 静圧気体軸受のアクティブ制振に関する研究 (第1報)-給気圧制御による軸受特性向上の可能性の検討-, 2004年度精密工学会春季大会講演論文集 (2004) 1237.

4. Study on Externally Pressurized Gas Bearings with Infinite Stiffness (2nd Report)

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