1. 1) 大岩孝彰ほか:超精密位置決めにおけるアンケート報告,精密工学会誌,74, 10 (2008) 1027.
2. 2) 牧野内進:半導体露光装置ステージ技術の歴史,精密工学会超精密位置決め専門委員会定例会講演前刷集,2007-1, (2007) 22.
3. 3) 大塚二郎:ナノテクノロジーと超精密位置決め技術,工業調査会,(2006)37.
4. 4) 高橋徹:リニアガイドの技術動向,2006年度精密工学会春季大会シンポジウム資料「転がり機械要素の最新技術動向」,(2008)97-102.
5. 5) 二見茂:精密.超精密のためのコントローラ概論,精密工学会超精密位置決め専門委員会定例会講演前刷集,2006-1 (2006) 1-10.