Lateral Glow Discharge Ion Source for the Integrated MEMS Quadrupole Mass Spectrometer
Author:
Affiliation:
1. Wroclaw University of Science and Technology,Department of Microsystems,Wroclaw,Poland
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/10649892/10652259/10652352.pdf?arnumber=10652352
Reference10 articles.
1. Gas detection and identification using MEMS TOF mass spectrometer
2. A Planar Integrated Micro-mass Spectrometer;Muller,2012
3. Gas analysis using a MEMS linear time-of-flight mass spectrometer
4. Mass spectra measured by a fully integrated MEMS mass spectrometer
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