基于过焦扫描光学显微镜的光学元件亚表面缺陷检测方法

Author:

Wang Na 王娜,Liu Lituo 刘立拓,Song Xiaojiao 宋晓娇,Wang Dezhao 王德钊,Wang Shengyang 王盛阳,Li Guannan 李冠楠,Zhou Weihu 周维虎

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference33 articles.

1. 熔石英光学元件加工亚表面缺陷检测及抑制技术研究进展;陈明君;机械工程学报,2021

2. Progress in detection and suppression techniques for processing-induced sub-surface defects of fused silica optical elements;M J Chen;Journal of Mechanical Engineering,2021

3. Width and depth gauging of rectangular subsurface defects based on all-optical laser-ultrasonic technology;C Chen;Applied Acoustics,2022

4. Overview of subsurface damage detection technologies for ultra-smooth quartz components;X Y Bian,2022

5. Advances and researches on non destructive testing: a review;S K Dwivedi;Materials Today: Proceedings,2018

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