基于自调整测量基准图的直线电机动子位置测量累积误差消减

Author:

Zhao Jing 赵静,Zhu Long 朱龙,Wu Zhenyu 吴震宇,Dong Fei 董菲

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference45 articles.

1. 基于变换序列权重峰值拟合的直线电机速度的快速精密测量;王婉婉;光学 精密工程,2022

2. Rapid-precision velocity measurement of a linear motor based on weighted peak fitting of the transformed sequence;W W Wang;Optics and Precision Engineering,2022

3. Backstepping control of disturbance estimation and compensation for permanent magnet linear motor;W Cao;Control and Decision,2020

4. 永磁直线电机扰动估计与补偿的位置反步控制;曹伟;控制与决策,2020

5. 基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法;李兆泽;光学学报,2014

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