基于傅里叶变换光学系统的动态多光束干涉光刻

Author:

Ye Yan 叶燕,Ma Yaqi 马亚骐,Song Zhi 宋志,Lu Chang 路畅,Xu Yishen 许宜申,Chen Linsen 陈林森

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference47 articles.

1. A broadband achromatic metalens in the visible;V C Su;Nature Nanotechnology,2018

2. A broadband achromatic metalens array for integral imaging in the visible;Z B Fan;Light: Science & Applications,2019

3. Reconfigurable all-dielectric metalens with diffraction-limited performance;Y F Zhang;Nature Communications,2021

4. Circularly polarized wave reflection focusing metasurfaces;Y F Li;Acta Physica Sinica,2015

5. 圆极化波反射聚焦超表面;李勇峰;物理学报,2015

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