SUB-MICRON PATTERNING TITANIUM NITRIDE BY FOCUSED ION-BEAM TECHNIQUE
Author:
Publisher
World Scientific Pub Co Pte Lt
Subject
Computational Mathematics,Computational Theory and Mathematics
Link
http://www.worldscientific.com/doi/pdf/10.1142/S1465876303001617
Reference15 articles.
1. Electrical characteristics of TiN contacts toNsilicon
2. Chemical and structural analyses of the titanium nitride/alpha (6H)‐silicon carbide interface
3. Nanoindentation studies of single‐crystal (001)‐, (011)‐, and (111)‐oriented TiN layers on MgO
4. Separation of 100-Kilobase DNA Molecules in 10 Seconds
5. Near-Field Scanner for Moving Molecules
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