Компьютерное моделирование тепловых полей системы Mo-Zr для формирования покрытий с помощью низкоэнергетического сильноточного электронного пучка

Abstract

Проведены расчеты температурных полей системы Mo (пленка)/Zr (подложка) при импульсном электронно-пучковом воздействии. Представлены рассчитанные зависимости порогов плавления системы Mo (пленка)/Zr (подложка) от толщины пленки. Порог плавления пленки Mo при увеличении её толщины монотонно увеличивается и стремится к порогу плавления чистого Mo. Порог плавления подложки Zr при увеличении толщины пленки Mo монотонно увеличивается от значения порога плавления чистого циркония до бесконечности. При значениях пленки молибдена не превышающих 8 мкм первой начинает плавится подложка циркония. При дальнейшем увеличении толщины пленки, наоборот, первой начинает плавиться пленка молибдена. Расчитанны зависимости толщины расплавленного слоя подложки из циркония от плотности энергии НСЭП для систем Mo/Zr с толщинами пленок молибдена 0.10, 0.25, 0.50 и 1.00 мкм. При увеличении плотности энергии наблюдается монотонное увеличение толщины расплава. Представлены временные зависимости толщины расплава при плотностях энергии НСЭП 2.5, 3.5, 4.5 и 5.5 Дж/см2 для системы Mo/Zr с толщиной пленки 0.5 мкм.