1. 1. H. Kinoshita, K. Kurihara, Y. Ishii and Y. Torii, J. Vac. Sci. & Technol., B7 (1989) 1648.
2. 2. W. Yueh, H. Cao, M. Chandhok, S. Lee, M. Shumway and J. Bokor, Proc. SPIE, 5376 (2004).
3. 3. a) T. Watanabe, H. Kinoshita, A. Miyafuji, S.Irie, S.Shirayone, S.Mori, E.Yane,S.Okazaki, H.Hada, K.Ohmori, H.Komano, Proc. SPIE, 3997 (2000) 600.
4. Fine Pattern Replication by EUV Lithography.
5. 4. T. Watanabe, K. Mashima, M. Niibe and H. Kinoshita, Jpn. J. Appl. Phys., 36(1997) 7597.