1. 1. N. Felix, D. Corliss, K. Petrillo, N. Saulnier, Y. Xu, L. Meli, H. Tang, A. De Silva, B. Hamieh, M. Burkhardt, Y. Mignot, R. Johnson, C. Robinson, M. Breton, I. Seshadri, D. Dunn, S. Sieg, E. Miller, G. Beique, A. Labonte, L. Sun, G. Han, E. Verduijn, E. Han, B. C. Kim, J. Kim, K. Hontake, L. Huli, C. Lemley, D. Hetzer, S. Kawakami, and K. Matsunaga, Proc. SPIE, 9776 (2016) 97761O.
2. 2. A. De Silva, K. Petrillo, L. Meli, J. C. Shearer, G. Beique, L. Sun, I. Seshadri, T. Oh, S. Han, N. Saulnier, J. Lee, J. C. Arnold, B. Hamieh, N. M. Felix, T. Furukawa, L. Singh, and R. Ayothi, Proc. SPIE, 10143 (2017) 101431G.
3. 3. D. De Simone, Y. Vesters, A. Shehzad, G. Vandenberghe, P. Foubert, C. Beral, D. Van Den Heuvel, M. Mao, and F. Lazzarino, Proc. SPIE, 10143 (2017) 101430R.
4. 4. P. De Bisschop, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS, 16 (2017) 041013.
5. 5. L. Meli, K. Petrillo, A. De Silva, J. Arnold, N. Felix, C. Robinson, B. Briggs, S. Matham, Y. Mignot, J. Shearer, B. Hamieh, K. Hontake, L. Huli, C. Lemley, D. Hetzer, E. Liu, K. Akiteru, S. Kawakami, T. Shimoaoki, Y. Hashimoto, H. Ichinomiya, A. Kai, K. Tanaka, A. Jain, H. Choi, B. Saville, and C. Lenox, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS, 18 (2018) 011006.