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Comparison of Fourier optics-based methods for modeling coherence scanning interferometry

  • Published:2024-04-12 Issue:04 Volume:63 Page:
  • ISSN:0091-3286
  • Container-title:Optical Engineering
  • language:
  • Short-container-title:Opt. Eng.

Author:

Hooshmand Helia1,Pahl Tobias2,de Groot Peter J.3,Lehmann Peter2,Pappas Athanasios1,Su Rong4,Leach Richard1,Piano Samanta1

Affiliation:

1. University of Nottingham, Nottingham, United Kingdom

2. University of Kassel, Measurement Technology Group, Kassel, Germany

3. Zygo Corporation, Middlefield, Connecticut, United States

4. Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Shanghai, China

Publisher

SPIE-Intl Soc Optical Eng

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