A feasible model-based OPC algorithm using Jacobian matrix of intensity distribution functions
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Publisher
SPIE
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1. Matrix-OPC with fast MEEF prediction using artificial neural network;DTCO and Computational Patterning;2022-05-26
2. 计算光刻研究及进展;Laser & Optoelectronics Progress;2022
3. 深紫外计算光刻技术研究;Laser & Optoelectronics Progress;2022
4. Efficient optical proximity correction based on virtual edge and mask pixelation with two-phase sampling;Optics Express;2021-05-21
5. Lithographic imaging-driven pattern edge placement errors at the 10-nm node;Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS;2016-03-30
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