IBF technology for nanomanufacturing technology
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SPIE
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1. Ion beam figuring for X-ray mirrors: history, state-of-the-art and future prospects;Journal of Synchrotron Radiation;2024-05-21
2. High-throughput deterministic plasma etching using array-type plasma generator system;Review of Scientific Instruments;2021-12-01
3. One-dimensional ion-beam figuring for grazing-incidence reflective optics;Journal of Synchrotron Radiation;2016-01-01
4. A one-dimensional ion beam figuring system for x-ray mirror fabrication;Review of Scientific Instruments;2015-10
5. Translation-reduced ion beam figuring;Optics Express;2015-03-09
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