Hot spot monitoring of ArF laser at HDC and high energy mode using low reflective beam splitter

Author:

Babaeian Masoud,Mason Eric,Wang Jue,Cox Gerald

Publisher

SPIE

Reference4 articles.

1. Accelerated testing of high fluence protective coated optics;Das,2018

2. ArF laser-induced damage of calcium fluoride windows with protected anti-reflection coatings;Wang;Opt. Eng,2021

3. Surface assessment and mitigation of DUV op-tics;Wang,2015

4. Evaluation of coated and uncoated CaF2 optics by variable angle spectroscopic ellipsometry

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