Determination the characteristic parameter of nano-film based on spectroscopic ellipsometry by improved adaptive genetic algorithm

Author:

Yue Chong,Ding Yueqing,Tao Lei,Zhou Sen,Chen Long

Publisher

SPIE

Reference15 articles.

1. Nanoscale Calibration Standards and Methods

2. Optical detection of brain activity using plasmonic ellipsometry technique;Foozieh;Sensors & Amp;Actuators: B Chemical,2017

3. Characterization of wafer-scale MoS2 and WSe2 2D films by spectroscopic ellipsometry;Mangesh;Current Applied Physics,2017

4. Spectroscopic ellipsometry characterization of spin-coated Ge25S75 chalcogenide thin films;Petr;Pure and Applied Chemistry,2017

5. Nano step height measurement using an optical method

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