1. Institut d'Electronique et de Microelectronique du Nord, UMR CNRS 9929, Université des Sciences et Technologies de Lille, Avenue Poincaré, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex, France
2. Laboratoire des matériaux avancés céramiques, CRITT céramiques fines techniques, Université de Valenciennes et du Hainaut‐Cambrésis, ZI du champ de l'abbesse, 59600 Maubeuge, France