Electron Backscattering in Sputter Depth Profiling Using AES, EPES, and REELS
Author:
Affiliation:
1. Max-Planck-Institute for Metals Research
Publisher
Surface Analysis Society of Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsa/15/2/15_130/_pdf
Reference26 articles.
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1. Quantitative Compositional Depth Profiling;Springer Series in Surface Sciences;2012-06-01
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