1. J. S. Williams and J. M. Poate (Eds.), Ion Implantation and Beam Processing [Academic Press, New York (1984); Naukova Dumka, Kiev (1988), 369 pp.].
2. P. N. Uppal, J. S. Ahearn, and J. W. Little, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 597 (1988).
3. E. V. Gordienko, M. P. Dukhnovskii, N. G. Lysenko et al., Élektronnaya Tekhnika. Ser. 1, Élektronika SVCh, No. 6(390), 66 (1986).
4. T. Otsuki, J. Appl. Phys. 61, 928 (1987).
5. T. P. Pearsall, R. E. Nachory, and J. R. Chelikowsky, Phys. Rev. Lett. 39, 295 (1977).