1. A. V. Tyazhev, D. L. Budnitsky, O. B. Koretskay, V. A. Novikov, L. S. Okaevich, A. I. Potapov, O. P. Tolbanov, and A. P. Vorobiev, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 509, 34 (2003).
2. M. Rogalla and K. Runge, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 434, 44 (1999).
3. A. Cola, L. Reggiani, and L. Vasanelli, Semicond. Sci. Technol. 12, 1358 (1997).
4. H. Zhao, P. Hadizad, J. H. Hur, and M. A. Gundersen, J. Appl. Phys. 73, 1807 (1993).
5. R. P. Joshi and P. Kayasit, J. Appl. Phys. 86, 3833 (1999).