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Structural properties of the epitaxial (SiC)1 − x (AlN) x solid solution films fabricated by magnetron sputtering of SiC-Al composite targets

  • Published:2014-04 Issue:4 Volume:40 Page:300-302
  • ISSN:1063-7850
  • Container-title:Technical Physics Letters
  • language:en
  • Short-container-title:Tech. Phys. Lett.

Author:

Ramazanov Sh. M.,Kurbanov M. K.,Safaraliev G. K.,Bilalov B. A.,Kargin N. I.,Gusev A. S.

Publisher

Pleiades Publishing Ltd

Subject

Physics and Astronomy (miscellaneous)

Reference6 articles.

1. G. K. Safaraliev, Yu. M. Tairov, and V. F. Tsvetkov, Sov. Phys. Semicond. 25, 865 (1991).

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5. Sh. M. Ramazanov, M. K. Kurbanov, B. A. Bilalov, and G. K. Safaraliev, RF Patent No. 2482229.

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