Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen (Measurement System for Detecting the Phase Fronts of High-Frequency Surface Acoustic Waves)

Abstract

Es wird ein neues interferometrisches Verfahren zur Erfassung von akustischen Oberflächenwellen (OFW) im Gigahertzbereich mit einer Amplitude unterhalb einem Nanometer vorgestellt. Durch den Einsatz eines vektoriellen Netzwerkanalysators (VNA) ist das zerstörungsfreie und berührungslose Messverfahren in der Lage, sowohl die Amplitude als auch die Phase der Schwingung an jedem Punkt der zu untersuchenden Oberfläche zu bestimmen. Erweiterungen am homodynen Michelson-Interferometer und anschließende digitale Signalverarbeitung machen den Aufbau unempfindlich gegenüber der Längendifferenz der beiden Interferometerarme. Es wird außerdem gezeigt, wie anhand der Messdaten die richtungsabhängige Ausbreitungsgeschwindigkeit der akustischen Wellen ermittelt werden können.