Makyoh-Imaging zur Charakterisierung reflektierender OberflächenSurface Structure Analysis by Makyoh-Imaging

Abstract

Zusammenfassung In der Prozess- und Qualitätskontrolle spielen die Erkennung und Einstufung von Oberflächenstrukturen und Defekten eine immer wichtigere Rolle. Mit der Methode des Makyoh-Imaging (“Ma-Kyoh”, jap. für magischer Spiegel) steht ein leistungsstarkes, hochempfindliches Verfahren zur Verfügung, bei dem lokale konvexe und konkave Strukturen unter kollimierter Beleuchtung die Intensitätsverteilung im Reflex beeinflussen. Anhand einer am Fraunhofer IOF realisierten Messanordnung wird gezeigt, dass über den Reflex sowohl zuverlässig als auch schnell qualitative und quantitative Rückschlüsse auf Oberflächenstrukturen und Defekte möglich sind. Ergebnisse untersuchter Feinstrukturen auf Wafern und polierten Glasoberflächen werden vorgestellt.