1. 1) Sugai, H., J. Plasma Fusion Res., 86(1), 28-32 (2010) (in Japanese)
2. 2) Wada, K.; Terao, T.; Miyase, T.; Hori, T.; Doi, H.; Furumai, M., Sei Technical Review, 87, 54-58 (2018)
3. 3) Yokota. Y.; Tachibana, T.; Ando, Y.; Kobayashi, K., J. Vac. Soc. Jpn., 47(2), 59-64 (2004) (in Japanese)
4. 4) Oshima, M.; Tominaga, K.; Shimizu, T.; Senda, J.; Ishida, K., Trans. the JSME, 78(793), 1366-1376 (2012) (in Japanese)
5. 5) Chung, H. J.; Polyakov, A. Y.; Huh, S. W.; Nigam, S.; Skowronski, M.; Fanton, M. A.; Weiland, B. E.; Snyder, D. W., J. Appl. Phys., 97, 084913 (2005)