1. Light
Technology Institute, Karlsruhe Institute of Technology, Engesserstrasse
13, 76131 Karlsruhe, Germany
2. InnovationLab GmbH, Speyerer Str. 4, Heidelberg, Germany
3. Merck KGaA, Mainzer Straße
41, 64579 Gernsheim,
Darmstadt, Germany
4. Institut
für Hochfrequenztechnik, Technische Universität Braunschweig, Schleinitzstr. 22, 38106 Braunschweig, Germany
5. Institute
of Materials Science, Technische Universität Darmstadt, Petersenstrasse
32, 64287 Darmstadt, Germany
6. Institute
of Microstructure Technology, Karlsruhe Institute of Technology, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany