Evaluation of Homoleptic Guanidinate and Amidinate Complexes of Gadolinium and Dysprosium for MOCVD of Rare-Earth Nitride Thin Films

Author:

Thiede Tobias B.1,Krasnopolski Michael1,Milanov Andrian P.1,de los Arcos Teresa2,Ney Andreas3,Becker Hans-Werner4,Rogalla Detlef4,Winter Jörg2,Devi Anjana1,Fischer Roland A.1

Affiliation:

1. Inorganic Chemistry II, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany

2. Experimental Physics II, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany

3. Fachbereich Physik and CENIDE, Universität Duisburg-Essen, Lotharstr 1, D-47057 Duisburg, Germany

4. Dynamitron-Tandem-Laboratorium (DTL) of RUBION, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

Materials Chemistry,General Chemical Engineering,General Chemistry

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