1. Laboratory of Mechanical & Material Engineering, Antenne de Nogent—52, Pôle Technologique de Sud—Champagne, 52800 Nogent, France
2. Nogent International Center for CVD Coating (NICCI), LRC CEA-LASMIS, Pôle Technologique de Sud—Champagne, 52800 Nogent, France
3. Centre National de la Recherche Scientifique, Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence, Faculté de Saint-Jérôme, Aix-Marseille Université, Service 142, CEDEX 20, 13397 Marseille, France