Über die zerstäubende Wirkung der Kanalstrahlen (Emission sekundärer Atomstrahlen)
Author:
Publisher
Wiley
Subject
General Chemical Engineering
Link
http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1002/bbpc.19080144603/fullpdf
Reference13 articles.
1. ÜBER KATHODISCHE VERSTÄUBUNG VON METALLEN in VERDÜNNTEN GASEN.
2. Zur Kenntnis der kathodischen Metallverstäubung in verdünnten Gasen
3. Über kathodische Zerstäubung von Metallen in verdünnten Gasen.: (Dritte Mitteilung.)
4. Über die Zerstäubung der Kathoden in verdünnten Gasen: (Vorläufige Mitteilung.)
5. Über kathodische Zerstäubung von Metallen in verdünnten Gasen
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1. Physical Sputtering and Sputter Deposition;The Foundations of Vacuum Coating Technology;2018
2. Review Article: Tracing the recorded history of thin-film sputter deposition: From the 1800s to 2017;Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films;2017-09
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