1. Karlsruher Institut für Technologie (KIT) Institut für Mikroverfahrenstechnik IMVT Hermann-von-Helmholtz-Platz 1 76344 Eggenstein-Leopoldshafen Germany
2. Karlsruher Institut für Technologie (KIT) Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik MVM Hermann-von-Helmholtz-Platz 1 76344 Eggenstein-Leopoldshafen Germany