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Applications of focused ion beams in microelectronics production, design and development

  • Published:1995-02 Issue:2 Volume:23 Page:61-68
  • ISSN:0142-2421
  • Container-title:Surface and Interface Analysis
  • language:en
  • Short-container-title:Surf. Interface Anal.

Author:

Stevie F. A.,Shane T. C.,Kahora P. M.,Hull R.,Bahnck D.,Kannan V. C.,David E.

Publisher

Wiley

Subject

Materials Chemistry,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Condensed Matter Physics,General Chemistry

Reference62 articles.

1. Microfocused ion beam applications in microelectronics

2. and IEEE/IRPS Proceedings, p. 43 (1989).

3. Application and integration of a focused ion beam circuit repair system

4. and IEEE/IRPS Proc., IEEE Comput. Soc. Press, Los Alamitos, CA, USA p. 167 (1991).

5. Recent advances in application of focused ion beam technology

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