Polymer MEMS Sensors
Author:
Publisher
John Wiley & Sons, Inc.
Link
http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1002/9781118774052.ch9/fullpdf
Reference77 articles.
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1. Novel Polymer MEMS Capacitive Hydrogen sensor with Palladium Ring on Membrane-Mass Architecture;2020 5th IEEE International Conference on Emerging Electronics (ICEE);2020-11-26
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