Direct Imprinting of Porous Silicon via Metal‐Assisted Chemical Etching

Author:

Azeredo Bruno P.1,Lin Yu‐Wei1,Avagyan Arik1,Sivaguru Mayandi2,Hsu Keng3,Ferreira Placid1

Affiliation:

1. Department of Mechanical Science and Engineering University of Illinois at Urbana‐Champaign 1206 W Green St Urbana IL 61801 USA

2. Carl R. Woese Institute for Genomic Biology University of Illinois at Urbana‐Champaign 1206 W Gregory Drive – MC195 Urbana IL 61801 USA

3. Polytechnic School Arizona State University 7001 E Williams Field Rd Mesa AZ 85212 USA

Funder

National Science Foundation

Publisher

Wiley

Subject

Electrochemistry,Condensed Matter Physics,Biomaterials,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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