1. Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems IPMS Center Nanoelectronic Technologies (CNT) 01099 Dresden Germany
2. Institut für Angewandte Physik Technische Universität Dresden 01187 Dresden Germany
3. Center of Excellence Complexity and Topology in Quantum Matter (ct.qmat): Dresden-Würzburg Cluster of Excellence-EXC 2147 TU Dresden 01062 Dresden Germany