Silver Thin‐Film Electrodes Grown by Low‐Temperature Plasma‐Enhanced Spatial Atomic Layer Deposition at Atmospheric Pressure

Author:

Hasselmann Tim1ORCID,Misimi Bujamin1,Boysen Nils2,Zanders David2,Wree Jan‐Lucas2ORCID,Rogalla Detlef3,Haeger Tobias1,Zimmermann Florian1,Brinkmann Kai Oliver1,Schädler Sebastian4,Theirich Detlef1,Heiderhoff Ralf1,Devi Anjana2ORCID,Riedl Thomas1ORCID

Affiliation:

1. Institute of Electronic Devices and Wuppertal Center for Smart Materials & Systems University of Wuppertal 42119 Wuppertal Germany

2. Inorganic Materials Chemistry Ruhr University Bochum 44801 Bochum Germany

3. RUBION Ruhr University Bochum 44801 Bochum Germany

4. Carl Zeiss Microscopy GmbH 73447 Oberkochen Germany

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Bundesministerium für Bildung und Forschung

Horizon 2020 Framework Programme

Publisher

Wiley

Subject

Industrial and Manufacturing Engineering,Mechanics of Materials,General Materials Science

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