Calibration and applications of a high-precision piezo scanner for nanometrology

Author:

Dürselen R.,Grunewald U.,Preuss W.

Publisher

Wiley

Subject

Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference7 articles.

1. Antrack T Profilermittlung an Strukturkanten mit einem Atomic Force Profiler Proceedings of the 38. Internationales wissenschaftliches Kolloquium 1993 344 354

2. Atherton P Nano positioners deliver subatomic accuracy Laser Focus World 107 112 1994

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