Инструментальные покрытия на основе TiAlN, полученные среднечастотным импульсным магнетронным распылением-Reference-Cited by-同舟云学术

Инструментальные покрытия на основе TiAlN, полученные среднечастотным импульсным магнетронным распылением

Published:2023-08-04 Issue:3 Volume:32 Page:44-51
ISSN:2499-9407
Container-title:STANKOINSTRUMENT Russia
language:ru
Short-container-title:Stankoinstrument Russia

Author:

Сошина Т.О.

Abstract

Рассмотрено влияние частоты импульсов в процессе импульсного магнетронного распыления покрытия TiAlN на изменения фазового и элементного составов покрытий, их микроструктуры, шероховатости поверхности и физико-механических свойств. Установлено оптимальное значение частоты импульсов, при котором формируется покрытие на основе высокодисперсной износостойкой фазы h-Ti3Al2N2 с плотной нанокристаллической структурой, минимальной шероховатостью поверхности, высокими значениями микротвердости и упругого восстановления.

Publisher

Technosphera JSC

Subject

General Medicine

Reference16 articles.

1. Александров В. А., Вдовин В. М., Сергеева А. С. Создание износостойких покрытий для режущего инструмента // International journal of humanities and sciences. 2017. № 11. С. 85–89.

2. Кавалейро А., де Хоссон Д. Наноструктурные покрытия / Пер. с англ. М.: ТЕХНОСФЕРА, 2011. 752 с.

3. The Effect of TiN, TiAlN, TiCN Thin Films Obtained by Reactive Magnetron Sputtering Method on the Wear Behavior of Ti6Al4V Alloy: A Comparative Study

4. Афанасьева Ю. Д., Шехтман С. Р. Технология нанесения покрытий Ti-TiN на режущий инструмент // Вестник УГАТУ. 2018. Т. 22, № 4(81). С. 3–9.

5. Sheng N. I., Sun Z., Zhao Q. Deposition of TiAlN film by reactive magnetron co-sputtering and related mechanical properties // Functional materials. 2005. Vol. 12, no. 36. PP. 1842–1848.