Issues of Three-Dimensional Nanometer Scale Analysis for Advanced Semiconductor Devices

Author:

TANAKA Hiroki1

Affiliation:

1. Device Technology Research & Development Center, Institute of Memory Technology Research & Development

Publisher

Surface Science Society Japan

Reference13 articles.

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4. 4) E. Zschech, S. Niese, M. Gall, M. Löffler and M.J. Wolf : Proc. of 20th PanPacific Microelectronics Symposium, Kolao (2015).

5. 5) E. Zschech, M. Löffler, J. Gluch and M.J. Wolf : MRS Spring, Phoenix (2016).

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