Overview of Dry Sealed Vacuum Pump

Author:

HAMAGUCHI Munehisa1

Affiliation:

1. Osaka Vacuum, Ltd.

Publisher

Surface Science Society Japan

Reference7 articles.

1. 1) D.O. Coffin : J. Vac. Sci. Technol. 20, 1126 (1982).

2. 2) JIS Z 8127 1981 Vacuum Technology - Vocabulary (Vacuum Pumps and Related Terms).

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4. 4) T. Sawada and T. Ohbayashi : Shinku 49, 460 (2006).

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