Ultraprecision Machining. Ultra-precision Machining by Plasma CVM.
Author:
Affiliation:
1. Department of Precision Science and Technology, Faculty of Engineering, Graduate School of Osaka University
Publisher
Surface Science Society Japan
Subject
General Earth and Planetary Sciences,General Engineering,General Environmental Science
Link
http://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj/22/3/22_3_160/_pdf
Reference17 articles.
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