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Author:
Affiliation:
1. National Institute for Materials Science (NIMS)
Publisher
Surface Science Society Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/63/5/63_20180543/_pdf
Reference2 articles.
1. 1) A.N. Itakura, R. Berger, T. Narushima and M. Kitajima : Appl. Phys. Lett. 80, 3712 (2002).
2. 2) M. Toda, K. Miyake, L.-Q. Chu, M. Zakerin, R. Förch, R. Berger and A.N. Itakura : Plasma Process. Polym. 15, 1800083 (2018).
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