Applied Research on Si-containing Diamond-like Carbon Films and Fundamental Research on Si Incorporation into the Films
Author:
Affiliation:
1. Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Gifu University
2. Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Chiba Institute of Technology
Publisher
Surface Science Society Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/67/2/67_20181210/_pdf
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