Quadrature-based interferometry using pulsed RGB illumination
Author:
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Publisher
The Optical Society
Subject
Atomic and Molecular Physics, and Optics
Reference26 articles.
1. Simultaneous phase-shift interferometer
2. Surface profile measurement in white-light scanning interferometry using a three-chip color CCD
3. Red-green-blue interferometer for the metrology of discontinuous structures
4. Passive vibration compensation in scanning white-light interferometry
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1. Tiefenscannende Interferometrie mit Unterabtastung in Kombination mit einem neuartigem RGB-Doppelpuls-Korrelations- Algorithmus zur Topographieerfassung;tm - Technisches Messen;2022-09-01
2. Mirau-Based CSI with Oscillating Reference Mirror for Vibration Compensation in In-Process Applications;Applied Sciences;2021-10-15
3. Kombination eines neuartigen Doppelpuls-RGB-Interferometers mit einem Hartmann-Shack-Wellenfrontsensor zur dynamischen flächenhaften Topographieerfassung;tm - Technisches Messen;2020-06-24
4. Double pulse LED illumination for phase detection in RGB-interferometry;Optical Measurement Systems for Industrial Inspection XI;2019-06-21
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