An improvement of the RI Auger electron thickness gauge for the measurement of thin metal films
Author:
Publisher
Elsevier BV
Subject
General Medicine
Reference3 articles.
1. A new method of thin-film thickness measurement using radioisotope Auger electrons
2. Recoil Particles fromPo210and Their Ionization in Argon and Helium
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4. Mean Free Path for Plasmon Excitation in Aluminum in the Energy Region from 1.5 to 10.9 keV;Journal of the Physical Society of Japan;1978-04
5. Electron Stopping Power in Aluminum in the Energy Region from 2 to 10.9 keV;Journal of the Physical Society of Japan;1978-03-15
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