1. Crank, J., The mathematics of diffusion, Clarendon Press, Oxford, 1975.
2. Santeler, D. J., J. Vac. Sci. Technol., 1992, A10(4).
3. Grant, D. M., Cummings, D. L. and Blackburn, D. A., J. Nucl. Mater., 1987, 149, 180.
4. Berman, A. S. and Fremerey, J. K., J. Vac. Sci. Technol., 1987, A5(4).
5. Myers, S. M. and Wampler, W. R., J. Appl. Phys., 1984, 56(6).