The pressure dependence of the pumping speed of sputter ion pumps

Author:

Dallos András

Publisher

Elsevier BV

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation

Reference7 articles.

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1. Getter and Ion Pumps;A Users Guide to Vacuum Technology;2023-11-20

2. Sputter-ion pumps for ultrahigh-vacuum use;A Review: Ultrahigh-Vacuum Technology for Electron Microscopes;2020

3. Sputter-ion pumping;Capture Pumping Technology;2001

4. A portable power supply for sputter-ion pumps;Vacuum;1993-08

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