Effect of multi-cusp magnetic fields to generate a high-density hydrogen plasma inside a low pressure H2 cylindrical hollow cathode discharge

Author:

Islam Md HasibulORCID,Uchida TakeshiORCID,Schulze JulianORCID,Ohtsu YasunoriORCID

Publisher

Elsevier BV

Reference40 articles.

1. Applications of plasma and fusion research;Dean;J. Fusion Eng.,1995

2. Applications of plasma in energy Conversion and storage materials;Liang;Adv. Energy Mater.,2018

3. Radio-frequency magnetized ring-shaped hollow cathode discharge;Ohtsu;Vacuum,2014

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5. Plasma processing for advanced microelectronics beyond CMOS;Marchack;J. Appl. Phys.,2021

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