Model of thermoelectric radiation sensors made by CMOS and micromachining

Author:

Elbel T.,Lenggenhager R.,Baltes H.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Metals and Alloys,Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference12 articles.

1. Miniaturisierte thermische Strahlungs-sensoren: Die neue Thermosäule TS-50.1;Elbel;Feingerätetechnik,1985

2. Miniaturized thermoelectric radiation sensors covering a wide range with respect to sensitivity or time constant;Elbel;Sensors and Actuators A,1991

3. Miniaturized thermoelectric radiation sensors;Elbel;Sensors Mater.,1991

4. Thermoelektrische Strahlungssensoren mit neuartiger Sensor-Architektur;Müller;Feingerätetechnik,1991

5. Hybridintegrierte thermoelektrische Strahlungssensoren;Elbel;Int. Conf. Temperatur '92, Dusseldorf, Germany,891992

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