Fabrication and Packaging: Low-Cost MEMS Technologies
Author:
Publisher
Elsevier
Reference90 articles.
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4. Xurography: Rapid prototyping of microstructures using a cutting plotter;Bartholomeusz;J. MEMS,2005
5. Polymer microfabrication methods for microfluidic analytical applications;Becker;Electrophoresis,2000
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