Revealing the 3-dimensional shape of atom probe tips by atomic force microscopy

Author:

Fleischmann ClaudiaORCID,Paredis Kristof,Melkonyan Davit,Vandervorst Wilfried

Funder

European Union's Horizon 2020

FWO

Publisher

Elsevier BV

Subject

Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference42 articles.

1. Atom-probe tomography: the local electrode atom probe;Miller;Mater. Characterization,2009

2. Atom probe tomography 2012;Kelly;Annu. Rev. Mater. Res.,2012

3. Atomic-scale tomography: a 2020 vision;Kelly;Microsc. Microanal.,2013

4. Atom probe tomography analysis of SiGe fins embedded in SiO2: facts and artefacts;Melkonyan;Ultramicroscopy,2017

5. Local magnification effects in the atom probe;Miller;Surf. Sci.,1991

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