Operational experience with totally oil-free rough vacuum pumps

Author:

Bez E.,Guarnaccia D.G.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation

Reference4 articles.

1. Proc Fifth Int Conf High Voltage and Electron Microscopy;Balkau,1977

2. Elimination of backstreaming from mechanical vacuum pumps

3. AVS Series 5, Vacuum Design of Advanced and Compact Sychrotron Light Sources;Bez,1988

4. In situ laser diagnostic studies of plasma‐generated particulate contamination

Cited by 6 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Oszillationsverdrängerpumpen;Springer Reference Technik;2018

2. Oszillationsverdrängerpumpen;Springer Reference Technik;2017

3. Positive Displacement Pumps;Handbook of Vacuum Technology;2016-07-09

4. Verdrängerpumpen;Wutz Handbuch Vakuumtechnik;2012

5. Hydrogen pumping characteristics of dry pumps;Vacuum;2009-12

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